| 加熱元件 Heaters | ||
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獨特的結合 |
| PBN/PG 電阻加熱元件，結合介電材料PBN (熱解氮化硼，具有獨特的電子、化學及熱特性) 與具有導電特性的PG(熱解石墨)，以達到更先進的加熱系統。這些超高純度非脆性耐熱材料，利用高溫CVD的方式生產。因二種材料同時具有熱傳導及非等向性特質，可產生卓越的熱均勻性。 |
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效能優點 | ||||||||||||||||||||||||||||
PBN/PG “印刷電路”加熱器利用PBN做為絕緣基材以及應用PG為電阻元件。在非氧化環境中，結合這些獨特的材料，所展現出來的效能優點，非一般傳統加熱系統所能匹敵。
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加熱器及靜電夾盤 (E-Chucks) 組合 | |||||||||||||||||||||
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有限原素分析及計算流體力學軟體模擬熱傳及機械特性 |
預先工程的加熱解決方案 | ||||||
| Momentive’s預先工程的陶瓷加熱器為經過實地測試後的設計，在諸如磊晶圓製作流程及高溫環境應用上，可展現傑出的熱穩定及其他優越性能。結合PBN及PG等電性、化學及熱特性的優點，提供客戶個別工程解決方案，而無需花費大量時間金錢再重新研究及測試一新設計。
這些預先解決工程問題的設計產品，一旦成為客戶的解決方法，將會進行不斷的重覆生產，以解決常見的熱問題。也因此讓我們可以透過較優惠的價格與一般客制化的加熱器競爭。我們也針對您獨特的應用或設備提供客製化的陶瓷加熱器服務。 |
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圓盤型加熱器 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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外固定環式的圓盤加熱器 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
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矩形加熱器 | ||||||||||||||||||||
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