熱解成型氮化硼 Pyrolytic Boron Nitride Chemically Vapor Deposited (CVD) Products 熱解成型氮化硼(PBN)為一種具有高電阻同時擁有絕佳熱傳導率的高溫陶瓷材料，此種超純度非孔性無毒材料，利用高溫低壓氣相沉積法可製作成下列各種不同型態：坩鍋、舟、管狀、瓶、各式板材。 應用範圍   ◎ 坩鍋和舟可用於III-V半導體長單晶之用，或諸如分子束磊晶(MBE)及蒸鍍鋁等高溫真空製程。 ◎ 管狀PBN可用於高溫真空的絕緣用途。 ◎ 製成高效能加熱器可使用於矽晶圓製程及光學加熱設備之中。 ◎ 石墨表面鍍PBN製成的感應器(susceptor)、隔熱板(heat shield)、噴嘴 (nozzle)及蒸發舟(evaporation boat)可用於軍事、製藥及其他工業用途磨。 一般常溫特性   性質 PBN 密度, gm/cc 1.95~2.22 拉伸強度, MPa (psi) 40 (6,000) 彎曲強度, MPa (psi) 80 (12,000) 熱傳導率, W/m°C (水平) 60 (垂直) 2 CTE, mm/mm/°C (1000°C) (水平方向) 2x10-6 電阻率, ohm-cm 1015 介電強度, D.C. volts/mm 2x105 介電常數 (水平) 5.2 (垂直) 3.4 總金屬雜質含量, ppm <10 氣體脫附比例(outgassing) N/A 最高建議使用溫度 (°C) 2,500° 機械特性   拉伸強度由室溫的41MPa，隨溫度升高至2200°C時變為103MPa，室溫彎曲強度(水平基礎面)83MPa，彈性係數(或楊氏係數)22GPa(室溫)，蒲松比(Poisson'sratio)0.25，最終壓縮強度234MPa 化學特性   PBN在室溫時對所有化學試劑皆為鈍性，高溫1000°C到2000°C時對大多數化學試劑、金屬、化合物亦呈化學惰性。 蒸鍍於石墨的PBN產品在2200°C的穩定性極佳，最高可暴露的氧化環境溫度為750°C。 熱特性   PBN在水平方向有極佳的熱傳導性，且同時於垂直方向為熱絕緣體，此高非等向性(50:1)僅有石墨具此特性。 PBN同時為絕佳的抗熱震材料，平板可加熱至2000°C後置入水中而無任何肉眼可辨的損傷。 電特性   PBN有極佳的電阻(同時兼具有絕佳之方向性熱導)及所有商用材料中最高的介電強度，此優異的介電特性即使溫度上升至1000°C亦維持一致。